由于室內(nèi)空間效仿設(shè)備其被抽器皿的容量從是多少千破方米到是多少萬(wàn)破方米，真空度變動(dòng)從是多少萬(wàn)Pa 到多少個(gè)Pa,并且被抽汽體中帶有很多的水蒸汽或部分氮氧化合物，因此這類(lèi)真空管理體系碰到困難便是預(yù)抽真空難題，倘若采用傳統(tǒng)式的滑閥泵作前面泵則存有以下難題：
是滑閥泵在高進(jìn)口工作壓力下長(zhǎng)歲月運(yùn)作，由于氣旋帶上功效，其油泵景色十分重特大，一是放縱很多價(jià)格昂貴的油，二是染上自然環(huán)境；次之，由于被抽汽體中帶有很多的水蒸汽或氮氧化合物，這種汽體一旦進(jìn)到泵內(nèi)會(huì)使真空油閥靈巧乳狀液霉變，油的密閉性毀壞，造成 真空功能著陸，乃至使泵毀壞；第三，需要配備泵的總數(shù)多，并且滑閥泵的震動(dòng)、噪音也大 .
螺桿真空泵由于存有清理隔膜真空泵、抽速大、震動(dòng)小、噪音劣等優(yōu)勢(shì)，已變成當(dāng)今大中型室內(nèi)空間效仿真空管理體系的選擇商品。此外，為了更好地發(fā)展真空發(fā)電機(jī)組的抽速跟真空并相對(duì)應(yīng)的減少磁力泵的規(guī)格，某些全是采用一臺(tái)羅茨真空泵與螺桿真空泵串連產(chǎn)生的二級(jí)發(fā)電機(jī)組或二臺(tái)羅茨真空泵與螺桿真空泵串連產(chǎn)生的三級(jí)發(fā)電機(jī)組。為防止顆粒物殘?jiān)M(jìn)到泵內(nèi)，在真空發(fā)電機(jī)組進(jìn)口均配備進(jìn)口過(guò)濾裝置，其精密度為50μm。